室內設計

　　1)將石英舟放入配好的濃度為15%氫氟酸溶液中浸石英舟泡90min後，將石英舟放入噴淋槽純水噴淋45min ；

　　2)清洗後的干燥用氮氣吹干石英舟；

　　3)將石英舟放入爐溫850°C的管式擴散爐內，通1500ml的三氯氧磷和375ml的氧氣，時間 200min ；

　　4)最後通入IOL氮氣冷卻石英舟。清洗飽和後的石英舟直接用於擴散工序生產硅片。

　　1)將石英舟放入配好的濃度為20%氫氟酸溶液中浸泡SOmin後，將石英舟放入噴淋槽純水噴淋60min ；

　　2)清洗後的干燥用氮氣吹干石英舟；

　　3)將石英舟放入爐溫830°C的管式擴散爐內，通1500ml的三氯氧磷和375ml的氧氣，時間 200min ；

　　4)通入30L氮氣冷卻石英舟。清洗飽和後的石英舟直接用於擴散工序生產硅片。

　　權利要求

　　1。一種石英舟清洗和飽和處理方法，其特征在於，包括以下步驟 石英舟的清洗將石英舟放入濃度為10% 25%的氫氟酸進行浸泡40min 120min後，放入噴陶瓷淋槽用純水噴淋，噴淋時間為20min 90min ； 清洗後的干燥用氣體干燥劑吹干石英舟； 石英舟的飽和將石英舟放入爐溫為800°C 900°C的管式擴散爐中，通入氧氣石英和流量為1000 3000ml/Min三氯氧磷液態源，其中氧氣和三氯氧磷液態源的流量比為1:1 5 ； 最後用10 30L/Min的氮氣或者氧氣冷卻石英舟。石英管

　　2。根據權利要求I所述的一種石英舟清洗和飽和處理方法，其特征在於，其特征在於，所述步驟I)中的氫氟酸的濃度為15% 20%，浸泡時間為60min 90min，噴淋時間為40min 60mino

　　3。根據權利要求I所述的一種石英舟清洗和飽和處理方法，其特征在於，其特征在於，所述步驟2)中的氣體干燥劑優選為氮氣。

　　4。根據權利要求I所述的一種石英舟清洗和飽和處理方法，其特征在於，所述的步驟3)中的爐溫為830°C 860°C，通入三氯氧磷液態源的流量為1000 3000ml/Min，其中氧氣和三氯氧磷的流量比為1:3 4。

　　5。根據權利要求I所述的一種石英舟清洗和飽和處理方法，其特征在於，所述步驟4)中的冷卻氣體優選為氮氣。